化學吸附劑
•使用多種的化學吸附劑，利用物理、化學吸附，選擇性地去除有害氣體。填充於吸附式Scrubber或是各式吸附塔中。
•應用:
–半導體廠、光電廠之離子植入製程端、蝕刻製程端、廠務端的特氣處理。如AsH3, PH3, BF3, WF3, ClF3, Cl2, HCl, NH3, TEOS, SiH4, TDMAT, GeH4, CO, O3…
–各種VOC、IPA吸附塔等廢氣處理。
–廣泛應用於多種領域，電子廠、傳產等等。
•化學吸附劑更換服務。
•化學吸附劑買賣。
•其他特殊氣體之化學吸附劑需求，歡迎您來信詢問。
