GS080/GS040

乾式吸附機台，專門處理毒性氣體(AsH3/PH3/BF3)，處理效率高達99%以上。室溫下即可操作，不會產生廢水。搭配一個80L藥劑桶或是一個40L藥劑桶。較常使用在廠務端。

GS080/040 簡介

GASSSMITH GS080 可滿足客戶的特殊需求。 GS080 Cabinet內配備有80L的吸附桶；GS-040 Cabinet內配備有40L的吸附桶。GS080/GS040較傳統的GS-200一樣的優點，其正常處理故障頻GS-200/GS-400相同，可達到99.95%的吸附率（MTBF>2000hr, MTTR<2.5hr）

特色

• PLC整合氣體偵測器及其他控制元件，擴充能力強大
• PLC與觸控面板緊合設計，故障率低，且維修容易
• 可處理小流量的多樣氣體
• 所占面積小，可應用於較小的環境空間。

適配

• 鼓風機
• 變色視窗
• 執行遠端監控
• 馬達跟監系統

可處理的氣體

AsH₃, PH₃, BF₃, SiH₄, GeH₄, DCS, TCS, Cl, HCl, HF, F₂, NH₃, TDMAT, BCl₃, WF₆, TEO5, SiF₆, NO, CO, H₂S, TMGa, TMIn, TMAI, IPA, 醋酸, 醇類, 有機酸...

 

硬體需求

• Gas Inlet : DN40 KF flange
• Gas Outlet : DN40 KF flange
• Main Power : 208V/60Hz 3Φr15amps
• N2 : Swagolok 1/4" 85-115psi
• CDA : N/A
• Cabinet Exhaust : 預留100mm X 70mm的長度給 bellows tubing；使用buttrtfly throttle value 以便因應客戶端所提議之氣體流量；20 X cabinet volume

尺寸規格