化學吸附劑

化學吸附劑

化學吸附劑
使用多種的化學吸附劑,利用物理、化學吸附,選擇性地去除有害氣體。填充於吸附式Scrubber或是各式吸附塔中。
應用:
半導體廠、光電廠之離子植入製程端、蝕刻製程端、廠務端的特氣處理。如AsH3, PH3, BF3, WF3, ClF3, Cl2, HCl, NH3, TEOS, SiH4, TDMAT, GeH4, CO, O3…
各種VOCIPA吸附塔等廢氣處理。
廣泛應用於多種領域,電子廠、傳產等等。
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